Phòng sạch là nơi thường được thiết kế để tránh các tác động của môi trường đến sản xuất hoặc nghiên cứu khoa học. Phòng sạch có nhiệt độ, độ ẩm rất ít biến đổi và mức độ ô nhiễm rất thấp như bụi bẩn, vi sinh vật, các vật thể trôi nổi trong không khí và hóa chất bay hơi. Trong công nghiệp, các phòng sạch được sử dụng trong sản xuất và bảo trì phần cứng như mạch tích hợp (IC s) và ổ đĩa cứng. Trong công nghệ sinh học và y học, các phòng sạch sẽ được sử dụng khi cần thiết để đảm bảo môi trường không có vi khuẩn, vi-rút hoặc các tác nhân gây bệnh khác. Vì các điều kiện rất nghiêm ngặt như vậy, việc đánh giá mức độ sạch của một phòng sạch là rất cần thiết và quan trọng.
Các chỉ tiêu thử nghiệm phòng sạch chính bao gồm:
– Đếm hạt phân loại cấp độ sạch
– Xác định độ rò rỉ màng lọc HEPA
– Xác định tính đẳng hướng dòng khí
– Đo vận tốc dòng khí
– Đo lưu lượng dòng khí
– Xác định áp suất phòng
– Đo cường độ ánh sáng khả kiến
– Đo độ ồn
– Thử đồng đều nhiệt độ
– Thử đồng đều độ ẩm
Các chỉ tiêu thử nghiệm tuỳ chọn bao gồm:
– Thử nghiệm vi sinh vật
– Đo độ rung
– Trao đổi không khí
– Độ dẫn điện
– Tĩnh điện
– Phát ion
Phòng sạch được phân loại dựa trên số lượng và kích thước các phần tử lơ lửng trong không khí ở một thể tích nhất định.
ISO 14644-1 Cleanroom Standards
| Class | Số lượng các phần tử tối đa / m3 | |||||
| >=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | |
| ISO 1 | 10 | 2 | ||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | |||
